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隔振平台

SDH型高性能气浮隔振平台

添加时间:2026-10-22
核心参数
垂直固有频率:1.0-1.5Hz(与负载有关)
水平固有频率:1.0-1.5Hz(与安装基础刚度相关)
水平重复定位精度:土0.01mm
防震等级:VC-D(符合ISO-ANSI标准)
高度可调:-10mm-10mm
单个负载:750kg,(四个负载3000kg)/(6个负载4500kg)
工作压力:建议小于0.6MPa
台面:可配不锈钢光学平台或大理石平台
 
配光学平台
台面:孔距25mm×25mm,孔径M6国标公制螺纹,
表面粗糙度:表面粗精度为0.8-1.6μm。
上面板:6mm厚高导磁不锈钢,精密磨削工艺,经密迪纹亚光处理。
下面板:6mm厚碳钢,内部做防锈漆,表面黑塑处理。
隔离杯:每个孔下面都有一个隔离杯(防止细小零部件掉到蜂窝芯里面,也保证台面干净,防粉尘、防水、防油)。
蜂窝状芯板:内部蜂窝状芯板采用的是不锈钢、铝板,镀锌板等防腐材料,内芯密度为250kg/m3;采用国内最新的粘结工艺,颠覆了传统的焊接工艺,无焊接应力;质量轻,强度高,稳定性好。
侧板:内层碳钢板,外层为黑色皮革,美观实用,四角用不锈钢板包角。
平面度:0.05mm(600×600mm)
隔振方式:采用对水平方向有较好隔振效果的三线摆系统,混合内腔设计,有更好刚性和稳定性。
 
配大理石平台
平面度:00级
密度>2.6g/cm³
硬度:莫氏硬度>3级,或肖氏硬度>50HS
吸水率:≤0.1%;
弹性模量:>60GPa
热膨胀系数:≤8X10-6/℃
工作面:需抛光处理,表面粗糙度Ra≤0.2um
表面无裂纹、砂眼、气孔、色班、杂质;轻微划痕深度≤0.002mm,每平方米内数量≤2处
附加结构:若需开设定位孔、凹槽等,需标注尺寸及公差,并且跟工程师图纸确认




 
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