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气浮式减震器

SDB型薄膜式气浮减震器

添加时间:2026-10-22
核心参数:
 垂直固有频率:2-3Hz(与负载有关)
水平因有频率:2-3Hz(与安装基础刚度相关)
系统稳定时间:<1.5s(震动衰减90%所需时间)
有效整定时间:<0.5s(需动衰减90%所需时间)
重复定位精度:±0.01mm(配备Casby高精度调节阀)
防震等级:VC-C级(符合ISO-ANSI标准)
工作温度:零下57℃一零上60℃
高效隔振能力:全频域震动隔振率>85%,50Hz以上频率震动隔振率>90%,100Hz以上频率震动隔振率>99%等效刚度可调,等效阻尼可调
 
核心功能特性:
 1.自动调平系统

-毫米级重复定位(重复定位精度±0.01mm)
-双模式调节
·充气模式(过载补偿)
·泄压模式(欠载调节)
2.自适应隔振

-压力自动匹配(工作范围0.3-0.6MPa)
-非线性刚度补偿技术
 
应用领域:
半导体制造业:例如光刻机、电子束曝光系统等要求极高精度的设备。
科学研究:包括原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)和其他纳米级观测仪器。
光学测量仪器:如干涉仪、激光测距仪等需要极高的稳定性的设备。
精密机械加工:用于超精密加工中心,以提高加工质量和效率
 
对于具体的型号选择,建议联系我们奈盎专业的技术工程师获取详细的技术参数和支持,以便找到最适合您应用需求的产品。此外,随着技术的进步,市场上可能会有新的解决方案出现,因此保持关注最新的技术和产品信息也是很重要的。
 



 
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